ICP單(dan)道(dao)掃描光(guang)譜(pu)儀從光(guang)源發(fa)出(chu)的(de)光(guang)穿過(guo)入(ru)射狹(xia)縫(feng)後,反(fan)射到(dao)壹(yi)個(ge)可(ke)以(yi)轉(zhuan)動(dong)的(de)光(guang)柵上(shang),該光(guang)柵將(jiang)光(guang)色散後,經反(fan)射(she)使某(mou)壹(yi)條特定(ding)波(bo)長(chang)的(de)光(guang)通(tong)過(guo)出(chu)射狹(xia)縫(feng)投(tou)射(she)到(dao)光(guang)電倍(bei)增(zeng)管(guan)上(shang)進(jin)行檢(jian)測(ce)。光(guang)柵轉(zhuan)動(dong)至(zhi)某壹(yi)固(gu)定(ding)角(jiao)度(du)時(shi)只允(yun)許(xu)壹(yi)條特定(ding)波(bo)長(chang)的(de)光(guang)線通(tong)過(guo)該出(chu)射(she)狹(xia)縫(feng),隨光(guang)柵角(jiao)度(du)的(de)變化(hua),譜(pu)線從該狹(xia)縫(feng)中依次通(tong)過(guo)並(bing)進入(ru)檢測(ce)器檢(jian)測,完(wan)成(cheng)壹(yi)次全(quan)譜(pu)掃(sao)描(miao);和多(duo)道光(guang)譜(pu)儀相(xiang)比,單道(dao)掃(sao)描(miao)光(guang)譜(pu)儀波長(chang)選擇更(geng)為(wei)靈(ling)活方(fang)便,分析(xi)樣品的(de)範圍更(geng)廣(guang),適用於較(jiao)寬的(de)波長(chang)範圍。但由(you)於(yu)完(wan)成(cheng)壹(yi)次掃描(miao)需(xu)要(yao)壹(yi)定(ding)時(shi)間(jian),因(yin)此(ci)分析(xi)速度(du)受(shou)到(dao)壹(yi)定(ding)限(xian)制(zhi)。
ICP單(dan)道掃描光(guang)譜(pu)儀掃描分光(guang)器,以(yi)往我(wo)們在掃描(miao)傳(chuan)動(dong)機構(gou)上(shang)采(cai)用正弦機構(gou),由於加(jia)工(gong)和(he)裝配上(shang)不(bu)能保障機(ji)械精度(du)造(zao)成(cheng)掃(sao)描(miao)回差較(jiao),往往(wang)連續(xu)掃描(miao)譜(pu)線峰位偏出(chu)窗(chuang)口(kou),現(xian)在我(wo)們改(gai)用蝸輪蝸桿傳(chuan)動(dong)機構(gou),由於加(jia)工(gong)精度(du)高(gao),裝配公道,所以(yi)掃描(miao)精度(du)可(ke)在0.0024nm之內(nei)(步進電(dian)機每(mei)步為0.0006nm)。分光(guang)器中(zhong)zui關鍵(jian)的(de)部(bu)件是(shi)光(guang)柵,我(wo)們采(cai)用的(de)離子刻(ke)蝕(shi)全(quan)息(xi)光(guang)柵,面(mian)積(ji)為(wei)110×80刻(ke)線密度(du)3600條/毫米(mi),分光(guang)器焦(jiao)距1米(mi),采用Czemy Tumer型(xing)。
ICP單(dan)道掃(sao)描(miao)光(guang)譜(pu)儀控制(zhi)電(dian)路,由(you)51系列(lie)單(dan)片機(ji)組(zu)成(cheng)壹(yi)個(ge)智(zhi)能(neng)控制(zhi)器,由(you)光(guang)電倍(bei)增(zeng)管(guan)接(jie)收(shou)下(xia)來(lai)的(de)光(guang)轉(zhuan)成(cheng)電(dian)信號通(tong)過(guo)高(gao)阻(zu)抗(kang)運(yun)算(suan)放(fang)器OP111,將(jiang)光(guang)電流(liu)變成(cheng)電(dian)壓(ya)值,再經V/F變換(huan)成(cheng)數(shu)字脈沖(chong),該脈沖(chong)進(jin)進51單(dan)片機(ji),這(zhe)個51單(dan)片機(ji)還有壹(yi)個(ge)功(gong)能就是(shi)根據(ju)輸(shu)進(jin)的(de)某種元素(su)的(de)波長(chang)換算成(cheng)步進電(dian)機的(de)步數(shu),然後發(fa)給(gei)步進電(dian)機驅動(dong)器,使(shi)步進電(dian)機走(zou)多(duo)少步,執行掃(sao)描(miao)找(zhao)峰任務(wu).核心(xin)技(ji)術,如實(shi)陳(chen)述(shu).