ICP單(dan)道(dao)掃(sao)描(miao)光譜(pu)儀特(te)點(dian)：1、射(she)頻(pin)發生(sheng)器的高(gao)壓(ya)供電(dian)回路，采(cai)用的電(dian)子(zi)技(ji)術，淘汰了笨(ben)重的升壓(ya)變壓(ya)器和高(gao)頻(pin)阻(zu)流(liu)圈，采(cai)用功率閉(bi)環反(fan)饋技(ji)術，控(kong)制精度(du)於(yu)0.1% 2、全(quan)自動點火 氣(qi)路智能(neng)控(kong)制，實現(xian)軟(ruan)件(jian)點(dian)火(huo)，更方便(bian)3.安(an)全(quan)冷卻水(shui)保(bao)護、氬氣(qi)保(bao)護、過壓(ya)、過流、滅弧保(bao)護(hu)更安(an)全(quan)4.輸(shu)出功率自(zi)動匹配(pei)調諧，功率參數軟(ruan)件(jian)程序設定5.分光器內(nei)充氬氣(qi)，使(shi)波長在(zai)180nm的硫(liu)和189nm的Sn得(de)到很(hen)靈(ling)敏的效(xiao)果