ICP光(guang)譜(pu)儀特點(dian)：1、射(she)頻(pin)發生(sheng)器的(de)高壓供(gong)電(dian)回路(lu)，采(cai)用的(de)電(dian)子技(ji)術(shu)，淘汰(tai)了(le)笨(ben)重(zhong)的(de)升(sheng)壓變壓器和(he)高頻(pin)阻(zu)流圈，采(cai)用功率(lv)閉環(huan)反饋技(ji)術(shu)，控制精度於(yu)0.1% 2、全自(zi)動(dong)點(dian)火(huo) 氣路(lu)智(zhi)能控(kong)制，實現(xian)軟(ruan)件(jian)點(dian)火(huo)，更(geng)方(fang)便(bian)3.安全冷卻水(shui)保(bao)護、氬氣(qi)保(bao)護、過壓、過流、滅弧保(bao)護更(geng)安全4.輸(shu)出(chu)功率(lv)自動(dong)匹配(pei)調(tiao)諧(xie)，功率(lv)參(can)數軟(ruan)件(jian)程序(xu)設定(ding)5.分(fen)光(guang)器內(nei)充(chong)氬(ya)氣(qi)，使波長在180nm的(de)硫(liu)和189nm的(de)Sn得(de)到(dao)很靈(ling)敏的(de)效(xiao)果

ICP光(guang)譜(pu)儀特點(dian)：1、射(she)頻(pin)發生(sheng)器的(de)高壓供(gong)電(dian)回路(lu)，采(cai)用的(de)電(dian)子技(ji)術(shu)，淘汰(tai)了(le)笨(ben)重(zhong)的(de)升(sheng)壓變壓器和(he)高頻(pin)阻(zu)流圈，采(cai)用功率(lv)閉環(huan)反饋技(ji)術(shu)，控制精度於(yu)0.1% 2、全自(zi)動(dong)點(dian)火(huo) 氣路(lu)智(zhi)能控(kong)制，實現(xian)軟(ruan)件(jian)點(dian)火(huo)，更(geng)方(fang)便(bian)3.安全冷卻水(shui)保(bao)護、氬氣(qi)保(bao)護、過壓、過流、滅弧保(bao)護更(geng)安全4.輸(shu)出(chu)功率(lv)自動(dong)匹配(pei)調(tiao)諧(xie)，功率(lv)參(can)數軟(ruan)件(jian)程序(xu)設定(ding)5.分(fen)光(guang)器內(nei)充(chong)氬(ya)氣(qi)，使波長在180nm的(de)硫(liu)和189nm的(de)Sn得(de)到(dao)很靈(ling)敏的(de)效(xiao)果