光譜儀(yi)特點：1、射頻發(fa)生(sheng)器(qi)的(de)高(gao)壓供電(dian)回路(lu)，采(cai)用(yong)的(de)電(dian)子(zi)技(ji)術(shu)，淘(tao)汰(tai)了笨(ben)重的升壓變壓器(qi)和(he)高頻阻(zu)流圈(quan)，采(cai)用(yong)功(gong)率閉(bi)環(huan)反饋(kui)技術，控制(zhi)精(jing)度(du)於(yu)0.1% 2、全自(zi)動點(dian)火(huo) 氣路智能控(kong)制(zhi)，實(shi)現軟件(jian)點火(huo)，更方(fang)便(bian)3.安(an)全冷卻水保(bao)護(hu)、氬(ya)氣保護(hu)、過(guo)壓、過(guo)流、滅弧保護(hu)更安(an)全(quan)4.輸出功(gong)率自動(dong)匹(pi)配調(tiao)諧(xie)，功(gong)率參數(shu)軟件(jian)程序設(she)定5.分光(guang)器(qi)內充氬氣，使波(bo)長(chang)在(zai)180nm的(de)硫(liu)和(he)189nm的Sn得(de)到(dao)很靈(ling)敏(min)的(de)效(xiao)果