電(dian)感(gan)耦(ou)合(he)等(deng)離(li)子體(ti)發射光譜(pu)儀(yi)特(te)點：1、射頻發生器的(de)高(gao)壓供(gong)電(dian)回(hui)路(lu)，采(cai)用(yong)的(de)電(dian)子技術(shu)，淘(tao)汰了(le)笨重(zhong)的(de)升(sheng)壓變(bian)壓器(qi)和(he)高頻阻(zu)流圈(quan)，采(cai)用(yong)功率(lv)閉(bi)環(huan)反(fan)饋(kui)技(ji)術(shu)，控制(zhi)精(jing)度於0.1% 2、全(quan)自動(dong)點(dian)火 氣路(lu)智能控制(zhi)，實(shi)現軟件(jian)點(dian)火，更方便(bian)3.安全(quan)冷(leng)卻水(shui)保護、氬(ya)氣保護、過(guo)壓、過(guo)流、滅(mie)弧保護更安全(quan)4.輸(shu)出(chu)功(gong)率(lv)自動(dong)匹配調(tiao)諧，功(gong)率(lv)參數(shu)軟件(jian)程序設定5.分(fen)光(guang)器內充氬(ya)氣，使(shi)波長在(zai)180nm的(de)硫和189nm的(de)Sn得(de)到很靈敏的(de)效(xiao)果