ICP單道掃描(miao)光(guang)譜儀特(te)點(dian)：1、射頻(pin)發生器的高(gao)壓(ya)供(gong)電回路(lu)，采(cai)用的電子技術，淘(tao)汰(tai)了笨重的升壓(ya)變(bian)壓(ya)器(qi)和(he)高(gao)頻(pin)阻流圈(quan)，采(cai)用功率(lv)閉(bi)環(huan)反(fan)饋(kui)技術，控制(zhi)精度於(yu)0.1% 2、全自(zi)動(dong)點(dian)火(huo) 氣路(lu)智(zhi)能控制(zhi)，實現軟件點火(huo)，更方便3.安全冷(leng)卻(que)水(shui)保(bao)護、氬氣保(bao)護、過(guo)壓(ya)、過(guo)流、滅(mie)弧(hu)保(bao)護更安全4.輸(shu)出(chu)功率(lv)自(zi)動匹配(pei)調(tiao)諧，功率(lv)參(can)數(shu)軟件程序(xu)設定5.分光(guang)器(qi)內充(chong)氬氣，使波長在180nm的硫和(he)189nm的Sn得(de)到(dao)很靈(ling)敏(min)的效果