全(quan)自(zi)動(dong)點(dian)火(huo)臺式電(dian)感(gan)耦(ou)合等離子(zi)體(ti)發(fa)射(she)光譜儀：1、射(she)頻(pin)發(fa)生(sheng)器的(de)高(gao)壓供電(dian)回(hui)路(lu)，采用的(de)電(dian)子(zi)技(ji)術，淘(tao)汰了(le)笨(ben)重(zhong)的(de)升壓變(bian)壓器和高(gao)頻阻(zu)流圈，采用功(gong)率閉(bi)環(huan)反饋技(ji)術，控制精度(du)於(yu)0.1% 2、全(quan)自(zi)動(dong)點(dian)火(huo) 氣(qi)路智(zhi)能控制，實現(xian)軟件(jian)點火(huo)，更方便(bian)3.安(an)全冷(leng)卻(que)水(shui)保(bao)護(hu)、氬(ya)氣保(bao)護(hu)、過(guo)壓、過(guo)流(liu)、滅弧(hu)保(bao)護(hu)更安(an)全4.輸出功率(lv)自(zi)動(dong)匹(pi)配(pei)調(tiao)諧(xie)，功(gong)率(lv)參數軟件(jian)程序設(she)定(ding)5.分光器內充氬(ya)氣，使波長在180nm的(de)硫和189nm的(de)Sn得到很靈(ling)敏的(de)效果

電(dian)感(gan)耦(ou)合等離子(zi)體(ti)發(fa)射(she)光譜儀特(te)點(dian)：1、射頻(pin)發(fa)生(sheng)器的(de)高(gao)壓供電(dian)回(hui)路(lu)，采用的(de)電(dian)子(zi)技(ji)術，淘(tao)汰了(le)笨(ben)重(zhong)的(de)升壓變(bian)壓器和高(gao)頻阻(zu)流圈，采用功(gong)率閉(bi)環(huan)反饋技(ji)術，控制精度(du)於(yu)0.1% 2、全(quan)自(zi)動(dong)點(dian)火(huo) 氣(qi)路智(zhi)能控制，實現(xian)軟件(jian)點火(huo)，更方便(bian)3.安(an)全冷(leng)卻(que)水(shui)保(bao)護(hu)、氬(ya)氣保(bao)護(hu)、過(guo)壓、過(guo)流(liu)、滅弧(hu)保(bao)護(hu)更安(an)全4.輸出功率(lv)自(zi)動(dong)匹(pi)配(pei)調(tiao)諧(xie)，功(gong)率(lv)參數軟件(jian)程序設(she)定(ding)5.分光器內充氬(ya)氣，使波長在180nm的(de)硫和189nm的(de)Sn得到很靈(ling)敏的(de)效果