全自動(dong)高壓(ya)開(kai)關電源供電等離(li)子體(ti)發(fa)射(she)光譜(pu)儀自動(dong)點火、氣(qi)路智(zhi)能(neng)控(kong)制、實(shi)現(xian)軟件(jian)點(dian)火、更(geng)方便(bian)安全、冷(leng)卻水保(bao)護(hu)、氬(ya)氣(qi)保(bao)護(hu)、過(guo)壓、過(guo)流(liu)、滅弧(hu)保(bao)護(hu)更(geng)安全.輸(shu)出功率(lv)自動(dong)匹配(pei)調諧(xie)，功率(lv)參(can)數軟件程序設定(ding)、分(fen)光器內充(chong)氬氣(qi)，使波長(chang)在(zai)180nm的(de)硫(liu)和(he)189nm的Sn得(de)到很(hen)靈敏的(de)測(ce)量(liang)效(xiao)果(guo)、優良(liang)的(de)光學系(xi)統，的控(kong)制系(xi)統，保(bao)證(zheng)峰(feng)位(wei)定(ding)位準(zhun)確(que)，信背比優良(liang)、極的(de)基體(ti)效(xiao)應(ying)、測(ce)量(liang)範(fan)圍(wei)寬， 超(chao)微量(liang)到(dao)常(chang)量(liang)的(de)分(fen)析,動態(tai)線(xian)性(xing)範(fan)圍(wei)5—6個(ge)數量(liang)級(ji)