ICP單道掃描光(guang)譜儀(yi)特點(dian)：1、射(she)頻發生器的高壓(ya)供電(dian)回(hui)路，采(cai)用(yong)的電(dian)子(zi)技(ji)術(shu)，淘(tao)汰(tai)了(le)笨重(zhong)的升(sheng)壓變(bian)壓器和(he)高頻阻(zu)流圈，采(cai)用(yong)功(gong)率(lv)閉環反(fan)饋技(ji)術(shu)，控制精度於0.1% 2、全(quan)自(zi)動點(dian)火(huo) 氣路智能(neng)控制，實(shi)現(xian)軟件(jian)點(dian)火(huo)，更(geng)方便(bian)3.安(an)全冷卻(que)水(shui)保護(hu)、氬氣(qi)保護(hu)、過壓(ya)、過流(liu)、滅弧(hu)保護(hu)更(geng)安全(quan)4.輸(shu)出功率(lv)自(zi)動匹(pi)配調諧，功率參數(shu)軟件(jian)程(cheng)序設定(ding)5.分(fen)光(guang)器內充(chong)氬(ya)氣，使波長(chang)在(zai)180nm的硫和(he)189nm的Sn得(de)到很靈(ling)敏(min)的效(xiao)果(guo)